侵權投訴

上海微電子:第一臺28nm國產光刻機交付在即

2020-06-08 10:11 ? 次閱讀


光刻機按照用途可以分為IC 前道光刻機、封裝光刻機、面板光刻機以及 LED/MEMS/功率器件光刻機。而我們經常所說的芯片制造所使用的則是IC前道光刻機。

資料顯示,光刻工藝是芯片制造過程中占用時間比最大的步驟,約占芯片制造總時長的40%-50%。同時,光刻機也是目前晶圓制造產線中成本最高的半導體設備,約占晶圓生產線設備總成本的27%。目前最先進的 EUV 設備在2018 年單臺平均售價高達 1.04 億歐元。

?
據媒體報道,上海微電子裝備(集團)股份有限公司披露,將在2021-2022年交付第一臺28nm工藝的國產的沉浸式光刻機。雖然這與當今國際頂尖的7nm乃至是5nm光刻機還有數代的隔閡,但是差距已經大大縮小,畢竟在此之前國產光刻機還是90nm。

據悉,上海微電子是國內技術最領先的光刻設備廠商,從低端切入各個細分市場,現已成為封測龍頭企業的重要供應商,國內市場占有率高達80%,全球市場占有率也有40%,同時旗下LED/MEMS/功率器件光刻機性能指標領先,LED光刻機市占率第一。


上海微電子現有4大系列的光刻機產品,其中600系列步進掃描投影光刻機面向IC前道制造,采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應調焦調平技術,以及高速高精的自減振六自由度工件臺掩模臺技術,可用于90nm、110nm、280nm工藝和200mm、300mm晶圓生產。

500系列面向IC后道先進封裝,300系列面向LED、MEMS、功率器件制造,200系列面向TFT曝光。


在技術上,上海微電子的IC前道光刻機與國際先進水平差距仍較大。上海微電子裝備有限公司已量產的光刻機中性能最好的最高可實現 90nm 制程節點,ASML 的 EUV 3400B 制程節點可達到 5nm。這也使得在IC前道光刻機市場,國產化率較低,國內的IC前道光刻機市場主要被ASML、尼康和佳能瓜分。

不過,在對光刻精度要求較低的封裝光刻機、 LED/MEMS/功率器件光刻機、面板光刻機市場,上海微電子則取得了不錯的成績。

目前上海微電子封裝光刻機已實現批量供貨,成為長電科技、日月光、通富微電等封測龍頭的重要供應商,并出口海外市場,在國內市場占有率高達 80%,全球市場占有率達 40%。同時公司 300 系列光刻機可以滿足 HB-LED、MEMS 和 Power Devices 等領域單雙面光刻工藝需求,占有率達到 20%左右。

本文由電子發燒友綜合報道,內容參考自CnBeat、環球Tech,轉載請注明以上來源。
?

收藏 人收藏
分享:

評論

相關推薦

上海微電子裝備公司的高亮度LED步進投影光刻機入選“上海設計100+”

本次上海信息消費節由上海市經濟和信息化委員會、上海市商務委員會、上海市發展和改革委員會、上海市文化和....
的頭像 集成電路應用雜志 發表于 06-23 16:34 ? 968次 閱讀
上海微電子裝備公司的高亮度LED步進投影光刻機入選“上海設計100+”

上海新陽:光刻膠產品處于實驗研發和中試開發階段

對于公司兩臺光刻機何時到位,上海新陽稱,公司購買的ArF光刻機準備運輸中,時間尚不能確定。I線光刻機....
的頭像 集成電路應用雜志 發表于 06-23 16:30 ? 175次 閱讀
上海新陽:光刻膠產品處于實驗研發和中試開發階段

拒絕浮躁,務實前行 中國半導體制造業的投資存在什么問題

用數據說話,從采購半導體設備這一角度分析當前中國半導體產業面臨的諸多問題。文章有理有據,不少觀點和數....
發表于 06-18 12:04 ? 228次 閱讀
拒絕浮躁,務實前行 中國半導體制造業的投資存在什么問題

光刻機現狀:星星之火已點燃,國內能否早日燎原?

近期,光刻機的相關消息鋪天蓋地,在國際貿易摩擦反復無常的環境背景下,業界對于仍處處受制于他國的光刻機....
的頭像 電子魔法師 發表于 06-17 14:10 ? 915次 閱讀
光刻機現狀:星星之火已點燃,國內能否早日燎原?

碳基芯片在物聯網性能超群 擴展為三維結構

厲害!中國碳基芯片在物聯網性能超群,荷蘭ASML光刻機拖延無用 隨著美國對于華為的打壓力度一再加大,....
發表于 06-17 08:58 ? 387次 閱讀
碳基芯片在物聯網性能超群 擴展為三維結構

數擬詳細工藝試驗與模擬仿真分析

從擬合結果看,指數擬合的擬合度較差,對應的數據擬合結果可信度偏低,該測試結果可以去除,而對數擬合和線....
的頭像 lhl545545 發表于 06-16 11:34 ? 215次 閱讀
數擬詳細工藝試驗與模擬仿真分析

音圈電機在光刻機掩模臺系統中的應用

作為芯片制造的核心設備之一,光刻機對芯片生產的工藝有著決定性影響。 據悉,光刻機按照用途可分為生產芯....
發表于 06-15 08:05 ? 56次 閱讀
音圈電機在光刻機掩模臺系統中的應用

如果國家以兩彈一星的精神投入光刻機

如果國家以兩彈一星的精神投入光刻機的研發制造,結果會怎樣?...
發表于 06-10 19:23 ? 208次 閱讀
如果國家以兩彈一星的精神投入光刻機

全球光刻機巨頭阿斯麥市值破萬億大關

雖然目前上海微電子裝備(集團)股份有限公司所生產的光刻機設備較為低端,但依舊占據著國內近80%的光刻....
的頭像 lhl545545 發表于 06-09 11:36 ? 962次 閱讀
全球光刻機巨頭阿斯麥市值破萬億大關

半導體設備國產化機遇來臨,但半導體產業還是需要全球合作

目前,國內半導體材料與設備的國產化率平均還不到20%,但經過15~20多年的技術積累,以及企業和國家....
的頭像 荷葉塘 發表于 05-28 09:34 ? 4557次 閱讀
半導體設備國產化機遇來臨,但半導體產業還是需要全球合作

中國芯再發力,7nmEUV工藝還有多遠

芯片制造一直以來都是我國在技術發展上的一個難題,為了能夠有好的進展也投入了很多的一些科技力量,在這方....
發表于 05-23 09:41 ? 1328次 閱讀
中國芯再發力,7nmEUV工藝還有多遠

國產化壓力傳感器的艱難發展

東方紅衛星發射參與了,且受到了國防科工委的通令嘉獎。這里要注意的是參與了,而不是安裝在衛星上上了天。....
的頭像 傳感器技術 發表于 05-19 15:16 ? 982次 閱讀
國產化壓力傳感器的艱難發展

全球半導體設備一季度業績浮現:疫情下的艱難前行

今年以來,盡管有新冠肺炎疫情致使工廠運營不順以及 IT 設備需求減少等許多不確定因素縈繞市場,但全球....
發表于 05-10 11:15 ? 367次 閱讀
全球半導體設備一季度業績浮現:疫情下的艱難前行

疫情引發斷料危機,光刻膠國產化迫在眉睫

自新冠疫情爆發以來,國內半導體產業率先遭遇了“斷料危機”,而隨著海外疫情持續蔓延,全球半導體供應鏈受....
的頭像 獨愛72H 發表于 04-30 14:45 ? 1475次 閱讀
疫情引發斷料危機,光刻膠國產化迫在眉睫

首EUV光刻機的出口交貨影響,三星5nm技術應用部署將延后

由于臺積電在去年便擴大采購ASML旗下EUV光刻機,采購占比幾乎高達ASML總出貨量的一半以上,并且....
的頭像 牽手一起夢 發表于 04-21 15:56 ? 1226次 閱讀
首EUV光刻機的出口交貨影響,三星5nm技術應用部署將延后

為什么只有ASML才能制造出頂級光刻機,其技術難度有多高

大家都知道,目前我國光刻機技術至少落后荷蘭ASML15年,目前荷蘭ASML的頂級光刻機可以達到7nm....
的頭像 獨愛72H 發表于 04-19 23:43 ? 3968次 閱讀
為什么只有ASML才能制造出頂級光刻機,其技術難度有多高

ASML今年一季度營收僅上一季度六成 極紫外光刻機僅兩臺能確認收入

4月17日消息,據國外媒體報道,在智能手機等高端設備芯片的工藝提升到5nm之后,能生產5nm芯片的極....
的頭像 半導體動態 發表于 04-18 09:09 ? 1630次 閱讀
ASML今年一季度營收僅上一季度六成 極紫外光刻機僅兩臺能確認收入

疫情之下 荷蘭ASML訂單和需求依然強勁

據外媒報道,由于擔心新型冠狀病毒疫情帶來的不確定性,三星和臺積電的半導體設備供應商ASML宣布撤回2....
的頭像 汽車玩家 發表于 04-16 08:56 ? 1238次 閱讀
疫情之下 荷蘭ASML訂單和需求依然強勁

兩家極紫外光刻機公司3月份營收同比環比均上漲

對于芯片制造廠商來說,光刻機的重要性不言而喻,尤其是目前芯片制造工藝已經提升至5nm和3nm之后,極....
的頭像 牽手一起夢 發表于 04-15 15:44 ? 2138次 閱讀
兩家極紫外光刻機公司3月份營收同比環比均上漲

福建安芯半導體再次出貨一臺光刻機 實現60%至70%的國產化

近日,福建安芯半導體科技有限公司時隔1個月,再次出貨一臺價值近千萬元的光刻機,現已交付國內某研究所用....
的頭像 半導體動態 發表于 04-15 10:47 ? 9152次 閱讀
福建安芯半導體再次出貨一臺光刻機 實現60%至70%的國產化

部分光刻機制造設備供應商不受疫情影響 營收大漲

對于芯片制造廠商來說,光刻機的重要性不言而喻,尤其是目前芯片制造工藝已經提升至5nm和3nm之后,極....
的頭像 汽車玩家 發表于 04-15 09:27 ? 784次 閱讀
部分光刻機制造設備供應商不受疫情影響 營收大漲

福建安芯半導體價值近千萬元的光刻機出貨,產品實現60%至70%國產化

近日,福建安芯半導體科技有限公司出貨一臺價值近千萬元的光刻機,現已交付國內某研究所用于cmos領域研....
的頭像 牽手一起夢 發表于 04-14 16:50 ? 4586次 閱讀
福建安芯半導體價值近千萬元的光刻機出貨,產品實現60%至70%國產化

福建安芯半導體再次出貨一臺光刻機

集微網消息,近日,福建安芯半導體科技有限公司出貨一臺價值近千萬元的光刻機,現已交付國內某研究所用于c....
的頭像 汽車玩家 發表于 04-14 16:03 ? 4504次 閱讀
福建安芯半導體再次出貨一臺光刻機

從激光技術的角度來分析我國光刻機發展緩慢的原因

1964年,錢學森院士提議取名為“激光”,從1961年中國第一臺激光器到世界上第一所激光技術的專業研....
的頭像 獨愛72H 發表于 04-13 20:25 ? 2503次 閱讀
從激光技術的角度來分析我國光刻機發展緩慢的原因

90nm國產光刻機對比5nm ASML光刻機,差距很大

眾所周知全球最大的兩個芯片代工廠是三星和臺積電,雖說臺積電和三星如果斷供,像華為麒麟高端芯片可能就會....
的頭像 獨愛72H 發表于 04-13 17:22 ? 6879次 閱讀
90nm國產光刻機對比5nm ASML光刻機,差距很大

埃眸科技納米光刻機項目落戶常熟高新區 總投資達10億元

近日,埃眸科技與常熟高新區正式簽署項目協議,打造納米壓印光刻機生產線。
的頭像 半導體動態 發表于 04-13 16:18 ? 5022次 閱讀
埃眸科技納米光刻機項目落戶常熟高新區 總投資達10億元

中國的芯片行業想要獲得發展,必須突破光刻機的瓶頸

由于近些年科技的飛速發展,芯片行業也一同隨著潮流向前推進。工藝從微米進階到了更小更快的納米。
的頭像 獨愛72H 發表于 04-12 23:02 ? 1933次 閱讀
中國的芯片行業想要獲得發展,必須突破光刻機的瓶頸

中科院聯合多個科技公司研發出了一款22nm分辨率的光刻機

中芯國際接連取得突破,打破西方光刻機封鎖,勝利女神在招手!在我國半導體行業內,一直存在著一個重大問題....
的頭像 獨愛72H 發表于 04-10 17:52 ? 4719次 閱讀
中科院聯合多個科技公司研發出了一款22nm分辨率的光刻機

ASML去年交付26臺極紫外光刻機 其中約一半面向大客戶臺積電

據國外媒體報道,半導體行業光刻系統供應商ASML(阿斯麥)去年交付了26臺極紫外光刻機(EUV),調....
的頭像 工程師鄧生 發表于 04-09 11:20 ? 945次 閱讀
ASML去年交付26臺極紫外光刻機 其中約一半面向大客戶臺積電

三星3nm工藝投產延遲,新技術讓芯片功耗下降約50%

4月7日消息,在 5nm 工藝即將大規模量產的情況下,3nm 工藝就成了臺積電和三星這兩大芯片代工商....
的頭像 牽手一起夢 發表于 04-08 14:41 ? 889次 閱讀
三星3nm工藝投產延遲,新技術讓芯片功耗下降約50%

300260新萊應材

新萊應材接受投資者提問時表示,光刻機領域根據結構圖紙是有機會可以使用到我司的真空系統產品,我們也一直....
的頭像 汽車玩家 發表于 04-02 16:54 ? 2621次 閱讀
300260新萊應材

我們能否用逆向技術來復制荷蘭的光刻機技術

從理論上看,使用逆向技術確實可以復制荷蘭ASML的光刻機技術,但是從實際出發,這是行不通的,就算把光....
的頭像 獨愛72H 發表于 03-31 16:22 ? 1681次 閱讀
我們能否用逆向技術來復制荷蘭的光刻機技術

受疫情影響 ASML宣布下調Q1季度營收預期

由于COVID-19新冠病毒在全球的蔓延,多個行業的生產、消費都受到影響了,半導體行業也不例外。AS....
的頭像 工程師鄧生 發表于 03-31 10:03 ? 618次 閱讀
受疫情影響 ASML宣布下調Q1季度營收預期

疫情導致供應鏈被限制,ASML Q1季度營收預期減少1/4

由于COVID-19新冠病毒在全球的蔓延,多個行業的生產、消費都受到影響了,半導體行業也不例外。AS....
的頭像 汽車玩家 發表于 03-31 09:11 ? 640次 閱讀
疫情導致供應鏈被限制,ASML Q1季度營收預期減少1/4

中國的光刻機與荷蘭光刻機技術相比,主要區別是什么

芯片是半導體里的一個集大成者,而現在芯片的利用率非常的高,所以要想有一些技術領域的突破,就勢必要在芯....
的頭像 獨愛72H 發表于 03-29 23:10 ? 1744次 閱讀
中國的光刻機與荷蘭光刻機技術相比,主要區別是什么

芯片是如何制成的,都運用了哪些技術

如今的7nm EUV 芯片,晶體管多大100億個,它們是怎么樣安上去的呢。晶體管并非是安裝上去的,芯....
的頭像 獨愛72H 發表于 03-20 15:11 ? 2335次 閱讀
芯片是如何制成的,都運用了哪些技術

我國光刻機技術處于一個什么水平,未來發展將會何如

我國的光刻機目前能做的只有90nm制程,而荷蘭的ASML 最新EUV工藝光刻機可以做到7nm制程、6....
的頭像 獨愛72H 發表于 03-19 16:46 ? 3474次 閱讀
我國光刻機技術處于一個什么水平,未來發展將會何如

極紫外光刻機想要突破3納米,需要開發全新的材料

臺積電即將量產全球最先進的 5nm 工藝技術,在摩爾定律看似順遂推進下,材料技術發展的重重阻礙卻在臺....
的頭像 獨愛72H 發表于 03-19 16:32 ? 1822次 閱讀
極紫外光刻機想要突破3納米,需要開發全新的材料

芯片制造的核心設備:光刻機

光刻機是半導體制造設備中價格占比最大,也是最核心的設備,是附加價值極高的產品,被譽為是半導體產業皇冠....
的頭像 獨愛72H 發表于 03-19 13:55 ? 2018次 閱讀
芯片制造的核心設備:光刻機

我國的光刻機與光刻膠迎來了發展的黃金期

半導體產業發展落后,這是已經形成的共識,也是以美國為首的西方國家打壓我們的重點領域,因為被他們拿住了....
的頭像 獨愛72H 發表于 03-19 11:21 ? 2063次 閱讀
我國的光刻機與光刻膠迎來了發展的黃金期

LGD引進尼康步進式光刻機 以加快將業務重心轉向OLED

3 月 18 日訊,據韓媒報道,LG Display 計劃本月從尼康引進步進式光刻機,用于坡州市 P....
發表于 03-18 16:50 ? 483次 閱讀
LGD引進尼康步進式光刻機 以加快將業務重心轉向OLED

LG Display計劃從尼康引進一臺步進式光刻機 加快將業務重心轉向OLED

據韓媒etnews報道,業內人士透露,LG Display計劃本月從尼康引進一臺步進式光刻機,用于坡....
發表于 03-18 14:04 ? 126次 閱讀
LG Display計劃從尼康引進一臺步進式光刻機 加快將業務重心轉向OLED

光刻機能干什么_英特爾用的什么光刻機_光刻機在芯片生產有何作用

光刻機是芯片制造的核心設備之一,作為目前世界上最復雜的精密設備之一,其實光刻機除了能用于生產芯片之外....
的頭像 電子魔法師 發表于 03-18 11:12 ? 14891次 閱讀
光刻機能干什么_英特爾用的什么光刻機_光刻機在芯片生產有何作用

光刻機是誰發明的_中國光刻機與荷蘭差距

光刻機是集成電路制造中最精密復雜、難度最高、價格最昂貴的設備,用于在芯片制造過程中的掩膜圖形到硅襯底....
的頭像 電子魔法師 發表于 03-18 11:00 ? 12197次 閱讀
光刻機是誰發明的_中國光刻機與荷蘭差距

光刻機中國能造嗎_為什么中國生產不了光刻機

,中國最好的光刻機廠商上海微電子裝備有限公司(SMEE)已經量產的光刻機中,性能最好的SSA600/....
的頭像 電子魔法師 發表于 03-18 10:52 ? 37296次 閱讀
光刻機中國能造嗎_為什么中國生產不了光刻機

ASML研發下一代EUV光刻機:分辨率提升70% 逼近1nm極限

一、2021年的交付量將是2019年的兩倍左右 據國外媒體報道,在推出兩代極紫外光刻機之后,阿斯麥公....
發表于 03-18 09:16 ? 873次 閱讀
ASML研發下一代EUV光刻機:分辨率提升70% 逼近1nm極限

ASML憑什么稱霸光刻機市場

近日,荷蘭光刻機巨頭阿斯麥(ASML)公司2019年的年報中披露了關于下一代EUV極紫光刻機的研發進....
的頭像 半導體動態 發表于 03-17 15:25 ? 912次 閱讀
ASML憑什么稱霸光刻機市場

曝ASML新一代EUV光刻機預計2022年開始出貨 將進一步提升光刻機的精度

在EUV光刻機方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機,去年出貨26臺,創造了新紀錄....
的頭像 半導體動態 發表于 03-17 09:21 ? 1382次 閱讀
曝ASML新一代EUV光刻機預計2022年開始出貨 將進一步提升光刻機的精度

ASML研發新一代EUV光刻機 分辨率能提升70%左右

在EUV光刻機方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機,去年出貨26臺,創造了新紀錄....
的頭像 汽車玩家 發表于 03-17 09:13 ? 742次 閱讀
ASML研發新一代EUV光刻機 分辨率能提升70%左右

假如荷蘭ASML公司倒閉了,芯片行業會怎么樣?

雖然asml公司目前確實很厲害,目前asml公司基本上壟斷了高端光科技大部分的市場份額,但即便這樣a....
的頭像 汽車玩家 發表于 03-14 15:00 ? 2023次 閱讀
假如荷蘭ASML公司倒閉了,芯片行業會怎么樣?

我國有哪些光刻機企業?

光刻機是芯片制造的重要設備,內部結構精密復雜,它決定著芯片的制程工藝,是芯片生產中不可少的關鍵設備,....
的頭像 汽車玩家 發表于 03-14 10:58 ? 14756次 閱讀
我國有哪些光刻機企業?

如何采用低功耗28nm FPGA降低系統總成本?

在針對大批量應用開發系統時,要考慮的一個重要因素是成本。有多個方面會影響總體擁有成本,而不僅僅是每個元器件的價格。這包括...
發表于 10-14 06:11 ? 137次 閱讀
如何采用低功耗28nm FPGA降低系統總成本?

如何利用28nm高端FPGA實現功耗和性能的平衡?

 從工藝選擇到設計直至投產,設計人員關注的重點是以盡可能低的功耗獲得最佳性能。Altera在功耗和性能上的不斷創新,那其28nm高...
發表于 09-17 08:18 ? 373次 閱讀
如何利用28nm高端FPGA實現功耗和性能的平衡?
北京塞车pk10官网开奖